电子信息产业及太阳能光伏产业是我国经济的重要增长点,而硅晶片加工业对这两大产业的发展具有重要影响。江苏省是我国最大的微电子及光伏产业基地,电子信息产业规模居全国第二位,太阳能光伏产业规模为全国第一,已基本形成了由硅晶圆制造加工到电子芯片及太阳能电池制造的产业链。硅晶片加工业是该产业链中的重要一环。作为在硅晶片切割加工中的关键原材料,碳化硅磨削微粉的成功开发及产业化无疑对本省的电子信息产业及太阳能光伏产业的发展具有积极意义。
江苏省连云港市硅资源丰富,水晶、石英的储量和品质均居全国首位。石英储量达3亿吨,其中包括适合碳化硅生产的优质石英砂。连云港市硅产业为国家级区域性支柱产业,主要产品硅微粉、石英玻璃制品、碳化硅磨料以及石英砂矿产等在国内都具有重要地位。其中,普通绿碳化硅及碳化硅微粉的国内市场占有率分别为50%和40%。然而,目前大多数碳化硅企业生产技术总体上较为落后,产品附加值偏低,生产能耗大,因此企业亟须进行产品升级和高附加值产品的开发。
硅晶片线切割用碳化硅微粉是高技术、高附加值产品,目前其国际市场价格约为普通碳化硅微粉价格的10倍,为普通石英砂价格的200倍左右,而且国内外市场需求正处于高速增长期。然而,硅晶片线切割对碳化硅磨削微粉的晶相、纯度、粒度分布、颗粒形貌、表面特性(亲水性、分散性)要求极高。目前只有少数国外企业掌握了硅晶片线切割用碳化硅微粉的制造技术,如日本的FUJIMI株式会社、美国的Electro磨料公司、荷兰的ESK-SIC公司和法国Saint Gobain公司等,国际市场被上述几家企业所垄断。其中FUJIMI株式会社规模最大,其技术水平及产品质量均居世界领先地位,硅晶片线切割用碳化硅微粉的供应量占世界市场的60%左右,也是Intel公司全球唯一碳化硅磨削微粉特约供应商。
目前,国内已有院校及企业在进行硅晶片线切割用碳化硅微粉的研发工作,但试制品在6H晶相含量、颗粒形貌、亲水性等关键指标方面,与国际先进水平还有较大的差距,产品尚无法进入国际市场或替代进口,国内IC硅晶片线切割所用碳化硅微粉仍然依赖进口。
在此背景下,连云港研磨厂与南京工业大学、东南大学联合申报2006年度江苏省科技成果转化专项资金项目——“硅晶片线切割用6H SiC微粉材料的研究及产业化”项目(项目编号:BA2006049),并得到了江苏省科学技术厅的大力支持。连云港研磨广委托东南大学进行6H晶型碳化硅微粉产业化关键技术研究与自动测控系统研制和建设实施。雷蒙磨粉碎自动控制系统是其中的一个子项目。
连云港研磨厂碳化硅粉碎、气流分级设备是生产线中的核心设备之一。500吨中试项目研发设备成功地制备出了具有理想颗粒形貌的碳化硅微粉,但其生产设备需工人手动操作,生产能耗大、效率低,难以保证规模化生产对产量、质量稳定性的要求。特别当进料过量时,极易造成堵塞、甚至烧毁电机的现象。
因此,随着连云港研磨厂规模的发展壮大,市场对产品产量、质量需求的不断提高,雷蒙磨粉
碎自动控制系统的研制并投入使用已成为一项非常紧迫的任务。
连云港研磨厂雷蒙磨生产车间有6套雷蒙磨设备,雷蒙磨设备主要包括主机和分析机、鼓风机。下面简要介绍雷蒙磨设备结构组成和工作原理。
雷蒙磨是从国外传入的一种制粉磨机,目前国内生产较多,它适用各种矿粉制备、煤粉制备,如生料矿、煤矿、金刚石、碳化硅等材料的细粉加工。雷蒙磨从外形看像一个钢制容器竖立,有迸风、出风口,中部有进料口,其外形与MPS磨有些近似,但雷蒙磨磨棍回转中心线是直立的,NIPS磨磨棍回转中心线则是近似水平的。该机结构主要由主机、分析器、鼓风机、成品旋风分离器、微粉旋风分离器及风管组成。其中,主机由机架、进风蜗壳、铲刀、磨辊,磨环、罩壳组成。
雷蒙磨粉机工作原理:工作时,电磁振动给料机将需要粉碎的物料从机覃壳侧面的进料斗加入机内,悬挂在主机梅花架上的磨辊装置绕着垂直轴线公转,同时本身o转,由于旋转时离心力的作用,磨辊向外摆动,紧压于磨环,使铲刀铲起物料送到磨辊与磨环之间,因磨辊的滚动碾压而达到粉碎物料的目的。
风选分级过程;物料研磨后,风机将风吹入主机壳内,吹起粉末,经置于研磨室上方的分析机进行分选,粒度超出设定范围的物料又落入研磨室重磨,粒度合乎规格的随风流进入旋风收集器,收集后经出粉口捧出,即为成品。风流由大旋风收集器上端的回风管回入风机.风路是循环的,并且在负压状态下流动,循环风路的风量增加部分经风机与主机中间的废气管道捧出,进入小旋风收集器,进行净化处理。
雷蒙磨粉碎工艺的好坏很大程度上决定了碳化硅产品的规格和质量的高低,如果碳化硅产品的粒度不够,矿物粒子间不能达到充分分离,其产品的规格就不会太高;如果过磨就会过多消耗能源,生产效率低下。
可见,提高磨机的生产效率,降低磨机能耗,不仅能提高碳化硅徽粉产品的产量和质量,而且对降低生产成本,增加研磨厂的生产效益具有重要的经济实用价值.
本项目的主要工作就是对连云港研磨厂雷蒙磨车间设备进行全面自动化改造.其技术关键在于设计研制能实时监测雷蒙磨主机以及分析机、鼓风机工作电流,准确判断雷蒙磨、分析机和鼓风机的实时工作负荷大小,并据此对电磁振动给料机控制嚣及分析机、鼓风机变频器进行自动优化调节,使上述设备始终处于前后协调和最佳工况的粉碎自动控制系统.
雷蒙磨粉碎、分级自动化控制系统的设计研发成功及投入使用,能对电磁振动给料机进行实时自动调节,保证粉碎主机始终工作在最佳负荷状态,在保证质量的同时大大提高了该工序的生产效.率,降低了能耗。分级自动化的实现,进一步提高了碳化硅分选精度,方便、高效的提高了产品质量。在出现故障时,系统能自动报警并关断电源,避免了原先工人手动操作极易出现的堵塞、甚至烧毁电机的故障,保护了现场生产设备。该系统还避免了工人在环境非常恶劣工业现场人工调节,大大改善了其工作条件。雷蒙磨粉碎自动控制系统不仅有效的降低了企业运行、扩建和维护更新的费用,而且对丁促进本地区碳化硅乃至整个硅产业的升级和结构优化都具有重要的示范和带动作用。同时,本课题对PLC系统集成、自适应PID控制算法、MPI通讯协议进行了深入的研究,对以后相关系统的设计研发具有一定的参考和借鉴作用。
三门峡富通新能源销售雷蒙磨粉机、球磨机、雷蒙磨配件等。